濟(jì)南創(chuàng)譜儀器有限公司為您提供手動(dòng)探針臺(tái)手動(dòng)測(cè)試晶圓探針臺(tái)失效分析iv測(cè)試光電測(cè)試探針架探針座。產(chǎn)品信息:
在實(shí)際得科研生產(chǎn)中,由于樣品/晶圓wafer得尺寸越來越大,用于測(cè)試的探針臺(tái)相當(dāng)昂貴,我司根據(jù)客戶市場(chǎng)應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧,功能實(shí)用,成本較低的簡(jiǎn)易式探針臺(tái),在滿足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上,去除了不需要得部件,該探針臺(tái)系統(tǒng)包含:光學(xué)成像部分,隔振平臺(tái),探針座,四維調(diào)整載片臺(tái)chuck,真空吸附系統(tǒng);
創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺(tái),以達(dá)到較好得使用效果
技術(shù)參數(shù):
◆樣品臺(tái)xyzr四維調(diào)節(jié),xy行程根據(jù)樣品臺(tái)尺寸/晶圓尺寸而定,z軸行程10mm,xyz整體分辨率3μm,360°旋轉(zhuǎn)粗調(diào)可鎖緊
◆兼容多種光學(xué)顯微鏡,可以引入光路,完成光電mapping測(cè)試
◆整體尺寸小,方便攜帶,底部隔振地腳,提高測(cè)試穩(wěn)定性
◆漏電流精度:10pa/100fa屏蔽箱內(nèi)
◆探針采用交叉滾珠導(dǎo)軌/精密燕尾槽,線性移動(dòng),無回程差設(shè)計(jì)
◆1微米以上電極/pad使用
◆u型探針架,可以放置多個(gè)探針座
◆多被用于晶圓測(cè)試、led測(cè)試、功率器件測(cè)試、mems測(cè)試、pcb測(cè)試、液晶面板測(cè)試、太陽(yáng)能電池片測(cè)試、材料表面電阻率測(cè)試等;廣泛用于科研院校以及公司!
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