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近日，真空推出了壽命更長、振動更小、噪聲---的新型渦輪分子泵，同時問世的還有真空專為渦輪泵轉(zhuǎn)子開發(fā)的激光平衡技術(shù)。采用這項技術(shù)的相關(guān)真空泵---適用于包括質(zhì)譜分析、電子顯微術(shù)、檢漏儀和殘余氣體分析系統(tǒng)等對振動敏感的應(yīng)用。真空的
高度---的新型渦輪分子泵：安全、---、抗老化、體積小巧
分子泵的另一性能指標(biāo)是，壓縮比，所謂壓縮比是指分子泵的排氣口壓力與進氣口壓力之比，壓縮比與轉(zhuǎn)速及分子量的關(guān)系是:
kcxexp[gxu(m)17]式中:g為與葉輪幾何形狀有關(guān)的常數(shù);u為葉輪轉(zhuǎn)速;m為氣體的分子量。可見分子量大的氣體壓縮比較大。---質(zhì)譜檢漏儀中，逆擴散檢漏正是利用分子泵對小分子量---氣的低壓縮比，而且，還通過降低葉輪轉(zhuǎn)速，降低對he壓縮比，從而提高對---氣的響應(yīng)靈敏度。
分子泵的葉輪是高速旋轉(zhuǎn)的精密件，在分子泵運轉(zhuǎn)中，不允許固體雜物落到葉輪上，以避免損壞葉輪。也要防止---突然沖入正在運轉(zhuǎn)中的分子泵。因為這也有可能損壞葉輪，此外，分子泵運轉(zhuǎn)過程中，要遠離強磁場。結(jié)論改變---質(zhì)譜檢漏儀的分子泵轉(zhuǎn)速，檢測信號值發(fā)生變化，儀器在運行時，分子泵轉(zhuǎn)速改變后，只要改變漏率信號的修正系數(shù)，無需再次定標(biāo)，即可---檢測漏率的準(zhǔn)確性。
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渦輪分子泵的工作原理，結(jié)構(gòu)型式及其優(yōu)缺點。
為了利用渦輪分子泵，獲得清潔真空，國外多利用干式機械泵作其前級泵，構(gòu)成無油的真空系統(tǒng)。然而，目前國內(nèi)渦輪分子泵多以油封機械泵為其前級泵，構(gòu)成了有油真空系統(tǒng)，如果操作不當(dāng)，很難避免油蒸汽返流，對真空系統(tǒng)的污染。利用有油系統(tǒng)獲得清潔真空，---都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經(jīng)驗。
應(yīng)用：當(dāng)今，現(xiàn)代化的半導(dǎo)體行業(yè)中，越來越多地應(yīng)用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設(shè)備都需要在真空環(huán)境下運行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及---質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來抽真空。此外，在宇宙模擬設(shè)備、核聚變裝置、太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。
因此，很近十幾年來，渦輪分子泵，在國內(nèi)、外都得到了---的改進和發(fā)展。在渦輪分子泵的應(yīng)用日益增加干式的前級泵還沒有大量普及和應(yīng)用的情況下，有時還不得不用油封機械泵來作渦輪分子泵的前級泵。因此，針對這種現(xiàn)狀，對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。
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我國是很大的半導(dǎo)體消費市場，但產(chǎn)業(yè)鏈整體價值水平較低，尤其是關(guān)鍵材料與設(shè)備和零部件方面，ulvacutm3301fw分子泵服務(wù)，存在較大國外品牌依賴。例如，薄膜沉積、刻蝕、離子注入等半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵工藝過程部件——磁懸浮分子泵，長期被國外壟斷。面對“卡脖子”問題，公司積極響應(yīng)需求，承擔(dān)科技部《---規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》專項中“磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目，多項關(guān)鍵技術(shù)，于2011年成功研制國內(nèi)臺磁懸浮分子泵，---國外產(chǎn)品壟斷。
公司研制出新一代系列一體磁懸浮分子泵，以其---的性能，已廣泛應(yīng)用于工業(yè)過程、鍍膜等領(lǐng)域，為半導(dǎo)體零部件國產(chǎn)化注入新活力。未來，公司將繼續(xù)---半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，全力突破“卡脖子”技術(shù)難題，推動半導(dǎo)體設(shè)備零部件國產(chǎn)化，為中國集成電路發(fā)展持續(xù)貢獻力量。
現(xiàn)今，越來越多地改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。因此，很近十幾年來，渦輪分子泵在國內(nèi)、外都得到了---的改進和發(fā)展。渦輪分子泵與油擴散泵相比具有啟動快，有機蒸汽污染少和---真空---特點.因此在---質(zhì)譜檢漏儀中采用分子泵作為高真空系統(tǒng)，即使檢漏儀不用液氮冷阱，質(zhì)譜室也不致---沾污，并能保持較低的本底或雜聲.這有利于---質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度和穩(wěn)定性的提高，并且延長離子源的使用壽命.
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