在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對成品率有重大影響，無塵室設備包裝搬遷怎么收費，故應在過程中嚴格控制微粒子的數量，遵守“不攜入、不發生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。
無塵室內防止微粒子污染基本原則：
排除/除去
在無法避免大量微粒子發生的機臺中，為了不讓無塵室內產生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是---的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，負離子檢測儀而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。
發菌量工作人員產生的污染
1皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鐘脫落約1000片皮膚平均大小為30*60*3微米
2頭發：人類的頭發直徑約為50~100微米一直在脫落。
3口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4日常衣物：微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學品。
5人類靜止和坐立每分鐘將產生10000個大于0.3微米的微粒。
6人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產生1000000個大于0.3微米的微粒。
7人類以0.9m/s的速度行走時每分鐘將產生5000000個大于0.3微米的微粒。
空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器hepa進入無塵室，并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別換氣次數越多，凈化級別越高。此型式適用于無塵室等級1，000-100，000級。
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