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當壓力降至102pa時,熱偶電勢e開始增大,這是由于此時氣體傳導走的熱量減少,熱絲溫度已升高。當壓力p繼續降低時,熱偶電勢繼續增大,但是越來越緩慢, 很后趨于一定值。此后,p再降低,e不再變化,即熱偶真空計已達到其測量---,這個---為其測量下限,約為10-1pa。為了使用上的方便,通常按照p—e校準曲線將毫伏計的刻度改成真空度。用這樣刻度的真空計測量時,可直接讀出真空度,再也不需要根據測得的p-e校準曲線查被測真空度。
氣體種類對熱偶真空計的影響熱偶真空計對不同氣體的測量結果是不同的,inficon真空計控制器方案,這是由于不同氣體分子的導熱系數不同引起的。但各種氣體的p-e校準曲線形狀都類同,因此,在測量不同氣體的壓力時,可根據干燥空氣(或氮氣)刻度的壓力讀數,再乘以相應的被測氣體相對靈敏度,就可得到該氣體的實際壓力,即通常以干燥空氣(或氮氣)的相對靈敏度為1,其他一些常用的氣體和蒸氣的相對靈敏度如表4-2所示。相對靈敏度表明了氣體熱傳導的性質。
對于氣體分子中具有相同原子數的氣體或蒸氣,其相對靈敏度sr隨分子量的增大而增大。表4-2一些氣體與蒸氣的相對靈敏度四、熱偶規管加熱電流的確定由于制造熱偶規管所用的材料及工藝等原因,每個規管的加熱電流均不相同;在使用過程中也會因規管“老化”使得加熱電流變大;此外,不同測量范圍的加熱電流也有差異。因此,在使用熱偶計時,應按不同的量程確定規管的加熱電流。
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渦輪分子泵組由一個帶holweck級的(hipace80)渦輪分子泵和一款干式壓縮隔膜泵(mvp015-2)組成。這款泵組的抽速 ---可達67l/s并且 很終真空度可達110-7 hpa。不銹鋼腔體上有六個真空計連接口。如果客戶要求,兩個參考標準(1hpa和1,000hpa)和一個冷陰極真空計能夠預裝在這套系統中。比如,壓力控制和歸零調整的預裝。
所有的真空計都進行了預校準并且符合德國機構(german:deutscheakkreditierungsstelle–dakks)的標準。這就使得校準真空計可以被有效的實施并且符---律和規范要求,并且這個標準是一個國際化上---的標準。此外, 很多四臺真空計能安裝在不銹鋼腔體上同時進行校準。
裝置內要求6臺相接的真空計要求的真空度相同,譜拓認為這就需要在校準的時候,用獨立的進氣閥來設定并且控制真空度。
渦輪分子泵(英簡:turbopumps,tmp)是由多級的,渦輪狀帶葉片的轉子通過一個無刷直流電機驅動復合軸承構成。在轉子葉片之間,有一個定子葉片,定子葉片結構與轉子相似,但與轉子成鏡像安裝。
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inficon電容器塑料薄膜真空計規定準確測量電源電路功能損耗低、易集成化,充分考慮分布電容和干擾信號及溫度的危害,準確準確測量inficon電容器塑料薄膜真空泵規管的細微電容器是一個難點。感壓塑料薄膜上的電級各自與固定不動電級、參照電級組成比較敏感電容器和參照電容器,伺服驅動器電級坐落于感壓塑料薄膜下邊,
根據增加靜電力使感壓塑料薄膜在準確測量真空值的歷程中處在一個明確的部位,進而完成寬標準的動態性壓力測量。當被測壓力為p時,使得感壓塑料薄膜處在平衡狀態,則增加在感壓塑料薄膜上的企業范圍的靜電力fe應當工作壓力p相同,南沙區inficon真空計,靜電力均衡式inficon電容器塑料薄膜真空泵規管框架圖當伺服驅動器工作電壓為vs時,塑料薄膜上受到的靜電力fe為:式中:ε0為真內腔室的相對介電常數;d是伺服驅動器電級與塑料薄膜間的間距。
由式2、式3得伺服驅動器工作電壓與工作壓力p的影響為:靜電力均衡式inficon電容器塑料薄膜真空計的信號分析電源電路由微電容器準確測量電源電路和靜電力控制電路構成。在其中,微電容器準確測量電源電路用于對比較敏感電容器的變化量準確測量獲得工作壓力數據信號,而靜電力控制電路用于造成伺服驅動器工作電壓。
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