常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國-各行業應用真空工藝過程中不可少的主力泵種。近年來， 伴隨著我國經濟持續高速發展，真空泵相關下游應用行業保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業實現了持續穩定地快速的發展。
真空泵機械選擇：
真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，螺桿真空泵維修，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的---真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmhg的工作真空度，選用的真空泵的---真空度至少要2mmhg，能達到1mmhg。通常選擇泵的---真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。
真空泵機械選擇：
真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，干式真空泵維修，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有---的抽速，真空泵維修，但不能抽---，而三極型濺射離子泵，或二極型非對稱陰極濺射離子泵，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在---壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于---壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
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