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2023-2-11  
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氣體類型對熱偶真空計的危害熱偶真空計對不一樣氣體的測定結果是不一樣的,這也是因為不一樣氣體分子結構的傳熱系數不一樣引發的。但各種各樣氣體的p-e校準曲線樣子都相似,因而,在準確測量不一樣氣體的負擔時,可依據干躁氣體(或氫氣)標尺的工作壓力讀值,再乘于相對應的被測氣體相對度,就可獲得該氣體的真實工作壓力,



即通常以干躁氣體(或氫氣)的相對度為1,別的一些較常用的氣體和水蒸氣的相對度如表4-2所顯示。相對度說明了氣體導熱的特性。從表得知,針對氣體分子結構中具備同樣原子數的氣體或蒸汽,其相對度sr隨相對分子的增加而擴大。表4-2一些氣體與蒸汽的相對度



熱偶規管加溫電流量的明確因為生產制造熱偶規管常用的原料及加工工藝等緣故,每一個規管的加溫電流量均不同樣;在應用歷程中也會因為規管“衰老”促使加溫電流量增大;除此之外,不一樣檢測范圍的加溫電流量也是有差別。因而,英?嫡婵沼嬀S修費用,在應用熱偶記時,應按不一樣的測量范圍明確規管的加溫電流量。

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國內在90年代也有人研制了石英真空計,所用電路是以晶振本身為頻率控制元件的自振蕩,自-電路。測量范圍為0.1pa~2×105pa。 很近我們研制的dl-10a型石英真空計采用fc135晶振,測量范圍為5×10-1~105pa。目前已有石英真空計產品,



例如:cc-10真空計測量范圍是1.33×10-2pa到-壓,m-320xg晶振真空計測量范圍是1x10-1pa到-壓,dl-10a型石英真空計測量范圍是5x10-1pa到-壓。其優點為:傳感器體積小,耗電功率小約1w,精度較高約10%,量程較寬10-1~105pa等。



part 01工作原理

石英晶振在諧振時,其諧振頻率或諧振阻抗均與周圍氣體壓強有關,二者均可用來測量壓強。用諧振頻率與壓強有關的特性做真空計精度高,但測量范圍較窄,它可以用作標準真空計或應用于要-度高的真空測量領域。用諧振阻抗與壓強有關的真空計測量范圍較寬,可達0.1-105pa,適合做工作用真空計。晶振在諧振時,同時自身也存在機械振動,振動時將受氣體阻力,阻力的大小與氣體壓強有關,因而晶振的電學阻抗也與氣體壓強有關。

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真空計的分類及原理

真空計vacuumgauge,又稱真空規,是測量真空度或氣壓的儀器。一般利用不同氣壓下的某種物理效應的變化進壓的測量。在科研和工業生產中廣泛使用。按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能,利用氣體動力學和利用帶電粒子效應的真空計。



利用力學性能的真空計典型的有波爾登規bourdon和薄膜電容規;利用氣體力學效應的典型真空計有皮拉尼(pirani)電阻規和電熱偶規;利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。

1、波爾登規bourdon2、薄膜電容規3、皮拉尼規4、熱電偶規5、熱陰極電離規6、冷陰極電離規



真空計工作原理、工作特性及使用熱偶真空計是利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關,元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。一、熱偶真空計工作原理熱電偶真空計的構造如圖1所示,氣體分子承擔的熱傳導量與壓強成正比是熱電偶真空計的工作原理。


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