吸氣劑泵：它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。1蒸發離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華或蒸發而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現抽氣的一種真空泵。2濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺射散出來的吸氣材料上，以實現抽氣目的的一種真空泵。低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵按其真空度可以分為：粗真空、高真空、真空三大類。
真空泵價格特點(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；(2)轉子具有-的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可-降低驅動功率，從而可實現較高轉速；(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。
噴射真空泵：它是利用文丘里venturi效應的壓力降生產的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵，適于在粘滯留和過渡流狀態下工作。這種泵又可詳細地分成以下幾種： 液體噴射真空泵：以液體通常為水為工作介質的噴射真空泵。 氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質的噴射真空泵。 蒸汽噴射真空泵：以蒸汽水、油或蒸汽作為工作介質的餓噴射真空泵
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