使用方法
該設備操作簡單，易于上手，具體操作如下：
一、-前準備工作
1、硅片處理：-待-硅片經過勻膠處理，表面干凈平整，沒有明顯的污漬或破損。
2、選擇光刻板：根據項目需要，顯影機，選擇合適尺寸的光刻板，本設備兼容4英寸、5英寸或6英寸。
3、設備檢查：仔細檢查設備，-所有部件處于正常工作狀態，-操作環境-。
二、-操作步驟
1、安裝硅片：將待-硅片平放在設備的載臺上，-位置準確。
2、放置光刻板：將光刻板平放在硅片上方，如果使用菲林掩膜，需要在其上方放置透明玻璃以保持平穩。
3、設定-參數：使用控制面板設置-時間和強度，根據具體需求進行調整。
數顯測厚規千分款
測量勻膠厚度
量程:0~10mm
精度：0.001mm
公差：≤±0.005mm
觀察頭：鉸鏈式三目觀察頭，30°傾斜，瞳距48～75mm
目鏡：-視野目鏡 10x/22
無xian遠平場消色差物鏡：4x/0.1，10x/0.25，20x/0.4，40x/0.65
轉化器：四孔轉換器
載物臺：載物臺面積300×268mm，移動范圍250×250mm
焦距調節：同軸粗微動調焦機構，行程24mm
照明系統 ：6v20w鹵素燈，亮度可調
濾色鏡 藍色、黃色、綠色、磨砂玻璃片
勻膠機
調速范圍和時間：
i檔：50~10000轉/分，時間0~999s
ii檔：50~10000轉/分，時間0~999s
適用：直徑5~100mm硅片及其他材料勻膠
轉速穩定性：±1％
膠的均勻性：±2％
電極功率：40w，單相110~240v
真空泵抽氣速率：＞60l/min
熱板
溫度：0~300℃
溫度穩定性：±1℃
功率：850w
臺面大小：200x200mm
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