對于紊流潔凈室，由于主要依靠空氣的稀釋作用來降低室內(nèi)污染程度，所以主要采用換氣次數(shù)的概念，而不是直接采用速度的概念，但對室內(nèi)空氣流動的速度也有以下要求;
1.送風(fēng)口出口處的氣流速度不宜過大。與簡單空調(diào)房相比，速度衰減更快，擴(kuò)散角。
2.吹過水平面的氣流速度如車損時的回流速度不宜過大，以免將表面顆粒吹回氣流中，造成二次污染，此速度不宜干燥0.2m/s。
對于平流潔凈室俗稱層流潔凈室，因?yàn)樗饕俊盎钊麛D壓作用的氣流來排除污染”，所以截面上的速度是一個非常重要的指標(biāo)。以往全部參考美國20gb標(biāo)準(zhǔn)，采用0.45m/s。但人們也明白，這樣大的風(fēng)速所需要的通風(fēng)非常大，為了節(jié)約能源，也都在探索降低風(fēng)速的可行性。
另外，當(dāng)濕度過高時，粘在硅芯片表面的灰塵會被化學(xué)吸附在表面，工作臺設(shè)計(jì)，難以清理。相對濕度越高，去除附著越困難。而當(dāng)相對濕度低于30％時，由于靜電力的作用，顆粒容易吸附在表面，大量半導(dǎo)體器件容易擊穿。
凈化工程壓力調(diào)節(jié)
對于大多數(shù)潔凈空間來說，要保持內(nèi)壓靜壓高于外壓靜壓，以防止外部污染的侵入。壓差一般應(yīng)按照以下原則維持:
讓空氣凈化系統(tǒng)和這個潔凈室的裝修等等都是主要業(yè)務(wù)。
凈化工程所-設(shè)計(jì)的房間，工作臺，不管是在空氣條件上面如何變化的話，生產(chǎn)工作臺，室內(nèi)京東可以保持著友好的協(xié)作，標(biāo)準(zhǔn)工作臺，溫濕度以及這個壓力等性能，嚴(yán)格的按照標(biāo)準(zhǔn)去行。可以為各行各業(yè)提供凈化等級的要求，以及空氣凈化系統(tǒng)，還有整體的設(shè)計(jì)，售后維修等等，那么在很多行業(yè)當(dāng)中都是有所涉獵的，也是一個基礎(chǔ)的配套產(chǎn)品吧。
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