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廣州潽拓光電——
結構組成:渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子即動葉輪、靜葉輪和驅動系統等組成。
工作原理:
主要有立式和臥式兩種。
動葉輪外緣的線速度-氣體分子熱運動的速度一般為150~400米/秒。單個葉輪的壓縮比很小,渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。圖為20個動葉輪組成的整體式轉子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環固定并使動、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉。
特點:抽速大、無油、啟動快、無油污染、維護簡單
工作范圍:清潔的低真空~中、高真空,-~真空-真空:10-6/ 10-10torr
缺點:結構復雜、對軸承耐磨程度要求高、制造成本高
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1.分子泵的原理
分子泵是一種動量型真空獲得設備,子分子流態下,氣體分子與高速運動的表面發生碰撞獲得一定方向的動量,從而使氣體分子得到逐級壓縮,后被抽除。
2.分子泵特點
-連續抽除氣體
-節省能源
-可獲得清潔的真空
-對被抽氣體無選擇性,對各類氣體,抽速變化不大
-起停機時間短
-振動小,噪音低
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