無塵凈化車間亦名無塵室或清凈室，目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來，由于技術(shù)之發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如-型積體電路之研究制造，已成為各國在科技發(fā)展上-重視的項目。凈化車間對無塵干凈這方面要求非常高。
無塵車間設(shè)備如何選擇、布置與保養(yǎng)：
a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動部分之發(fā)塵。
b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。
c.生產(chǎn)用之水、氣體、-等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。
d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無塵車間外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。
f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。
百級無塵室建筑方式可分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種，其中普遍采用裝配式。裝配式百級無塵室潔凈系統(tǒng)主要由靜壓箱，過濾器，花露水凈化車間安裝，鋁合金擴散板，標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口等組成，造型美觀，結(jié)構(gòu)簡單，使用-。 如送風(fēng)口為下裝式，具有在潔凈室內(nèi)安裝和更換過濾器方便的優(yōu)點，過濾器采用機械壓緊或液槽密封裝置，-風(fēng)口安裝無泄露，密封-，凈化效果好.動力及照明系統(tǒng)；工作環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測報警消防和通訊系統(tǒng)；物流系統(tǒng)；工藝管路系統(tǒng)。
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