生物無(wú)菌生產(chǎn)車(chē)間, 建筑物為121x18米,共三層的鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)廠房,工廠供配電施工,單層面積2268 m2 。 首期生產(chǎn)車(chē)間設(shè)在一樓西面, 建筑物5米, 梁底高4.2 米; 其中注塑區(qū)車(chē)間設(shè)計(jì)天花高3.0米,其他區(qū)域?yàn)?.6米;原料粉碎、配料間為2.4米。主要生產(chǎn)無(wú)菌醫(yī)liao用一次-。設(shè)計(jì)為10萬(wàn)級(jí)域+空調(diào)面積。
流動(dòng)方向人員流動(dòng)方向:換鞋、更衣、洗手、手消毒--風(fēng)淋通道--潔凈走廊--潔凈車(chē)間在凈化車(chē)間及走廊設(shè)安全門(mén), 便于人員疏散。物品流動(dòng)方向:物流通道------潔凈車(chē)間--------成品包裝
潔凈室中的溫濕度控制:
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。
具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,工廠供配電設(shè)計(jì),但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),工廠供配電安裝,所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在-集成電路生產(chǎn)的光刻-工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,-是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。
濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,梁山工廠供配電,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)蕞佳溫度范圍為35—45%。