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什么是靶材綁定?靶材綁定的適用范圍、流程?
綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式:壓接、釬焊和導電膠。
1.壓接:采用壓條,一般為了提高接觸的-性,會增加石墨紙、pb或in皮;
2.釬焊:一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20w/cm2,釬料常用in、sn、in-sn;我司采用銦焊綁定技術。
3.導電膠:采用的導電膠要耐高溫,純銀板材價格,厚度在0.02-0.05um。
背靶的選擇
對材質的要求:一般選用無氧銅和鉬靶,厚度在3mm左右
導電性好:常用無氧銅,河北純銀板材,無氧銅的導熱性比紫銅好;
強度足夠:太薄,易變形,不易真空密封。
結構要求:空心或者實心結構;
厚度適中:3mm左右,太厚,消耗部分磁強;太薄,容易變形。
銦焊綁定的流程
1.綁定前的靶材和背板表面預處理
2.將靶材和背板放置在釬焊臺上,升溫到綁定溫度
3.做靶材和背板金屬化
4.粘接靶材和背板
鎢-鈦w-ti膜以及以鎢-鈦w-ti為基的合金膜是高溫合金膜,純銀板材回收,具有一系列的優良性能。鎢具有高熔點、高強度和低的熱膨脹系數等性能,w/ ti 合金具有低的電阻系數、-的熱穩定性能。如各種器件都需要起到導電作用的金屬布線,純銀板材多少錢,例如al 、cu 和ag 等已經被廣泛的應用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環境發生反應,與介質層的粘結性差,易擴散進入si 與sio2 等器件的襯底材料中,并且在較低的溫度下會形成金屬與si 的化合物, 充當了雜質的角色,使器件的性能大幅度下降。
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