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愛德華stpa1603c磁懸浮分子泵對應的控制器為:edwards scu-750
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小巧而-的edwards stpa1603c渦輪分子泵采用edwards的轉子技術進行設計。它提供-的吞吐量、*高的-性和yi流的性能,滿足zui新一代半導體制程的需要。其半機架的控制器和緊湊型設計可節省-的空間,而其的沉積減少系統提高了-性和性能。stpa1603c已經在zui新的200mm刻蝕工具上得到了證明,也能夠滿足新一代300mm氧化物腐蝕制程的需要。
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