單級雙吸泵真空泵和普通的水泵作用一樣,其特點是把旋轉水環(huán)當做活塞來改變泵腔的容積,以達到吸氣、壓縮和排氣的目的。它的零部件包括轉子葉輪、泵殼、端板、閥片、軸承、進排氣口、進口單向閥、軸端密封等。通常情況下,云浮普發(fā)分子泵控制器,軸端是密封的,是利用帶水封環(huán)的填料進行密封處理的,其中密封水是通過端板上的孔道導入導水封環(huán)位置的。哪里有修真空泵的
pfeiffer tmh071 p渦輪分子泵大量用于pfeiffer、agilentvarian、 ulvac、inficon、vst、abi、shimadzu等分析設備及-檢儀中分析儀器如-質譜檢漏儀,及小型分子泵組中。德國普發(fā)pfeiffer tmh071 p分子泵進氣法蘭口dn63 iso-kf/dn63 cf-f,出氣法蘭口dn16iso-kf,抽速可達到60l/s, 轉速為90000rpm,-真空<1*10e8mbar; 對應的控制器為pfeiffer tc600.
當今,現(xiàn)代化的半導體行業(yè)中,越來越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環(huán)境下運行。又如電子顯微鏡,普發(fā)分子泵控制器燒壞,表面分析儀器,殘余氣體分析儀及-質譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來抽真空。此外,在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統(tǒng),以防止油蒸汽的污染。因此,z近十幾年來,渦輪分子泵,在國內(nèi)、外都得到了顯著的改進和發(fā)展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒有大量普及和應用的情況下,有時還不得不用油封機械泵來作渦輪分子泵的前級泵。因此,針對這種現(xiàn)狀,普發(fā)分子泵控制器價格,對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。
廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)分子泵控制器油旋片真空泵
渦輪分子泵性能
泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級數(shù)和轉速有關外,還與氣體種類有關。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮(或空氣)的壓縮比為10~10;對氫為10~10;對分子量大的氣體如油蒸氣則大于10。
泵的-壓力為10pa,工作壓力范圍為10~10pa,抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1l=10m)。
渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)(氣體分子的平均自由程遠大于導管截面zui大尺寸的流態(tài))下工作才能顯示出它的性,因此要求配有工作壓力為1~10pa的前級真空泵。
分子泵本身由轉速為10000~60000轉/分的中頻電動機直聯(lián)驅動。
不要長時間在高壓力下工作
包括油旋片真空泵在內(nèi)的好多粗真空泵都可以從-壓直接啟動,但不代表它們可以長期在-壓或者比較差的真空下工作。旋片真空泵長時間在比較差的真空度下工作時,普發(fā)分子泵控制器-,大量的潤滑油會以油霧甚至油滴的形式從排氣口噴出,造成·泵油損失;另外,真空度比較差時,真空泵-也會比較-。
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pfeifer duoline旋片泵蓋了中低真空范圍(zui高為10-3 hpa)的所有應用。即使對于像干燥工藝、冶金工藝或樹脂究注系統(tǒng)等要求苛刻的工業(yè)應用,這些泵也能提供-的操作一作為單獨的泵,或者在我們的羅茨泵組或渦輪分子泵組中作為前級泵。得益于其-性的驅動器概念,這些泵都被密封,使得它們清潔且與環(huán)境兼容。由于磁耦合旋片泵沒有徑向軸密封件,所以不存在油泄漏. 隔膜真空泵保養(yǎng)中心
真空泵維修:
真空泵全拆修叫做大修,對采取了局部拆修措施而未能排除故障的一些真空泵,其真空度仍低、仍有滲漏等現(xiàn)象;或者有些泵有下述現(xiàn)象之一者:
如泵發(fā)生“卡死”現(xiàn)象,油很臟而且泵內(nèi)已結了垢,生了銹或用了不適當?shù)挠褪箼C械泵內(nèi)部零部件上結了硬殼硅汕進入機械泵內(nèi),就可能產(chǎn)生這種情形,旋片有較大的撞擊聲,泵腔內(nèi)落入異物金屬屑、玻璃屑、銅屑等劃傷泵腔,摩擦-溫升很厲害超過70℃等,均需將真空泵全拆開進行清洗修理。
根據(jù)使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類:
(1)一般水泵,壓強可達到1.333~100kpa(10~760mmhg)為粗真空。
(2)油泵,壓強可達0.133~133.3pa(0.001~1mmhg)為次高真空。
(3)擴散泵,壓強可達0.133pa以下,(10-3mmhg)為高真空。
若要較低的壓力,那就要用到油泵了,好的油泵能抽到133.3pa(1mmhg)以下。
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