分類原理介紹
按照真空計(jì)測(cè)量原理所利用的不同的物理機(jī)制，可將主要的真空計(jì)分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。
利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)bourdon和薄膜電容規(guī)；利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼pirani電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱極電離規(guī)和冷極電離規(guī)。
細(xì)的銅管受氣體壓力不同會(huì)有舒展現(xiàn)象，會(huì)帶動(dòng)杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應(yīng)的氣壓值。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在100pa至1atm。
在不同壓力下金屬膜片受力不同會(huì)有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測(cè)量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí)，比如可能是0.01pa至100pa、0.1pa至1000pa等。
這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度-。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對(duì)膜片力學(xué)性能的影響，使用-般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí)。
也叫做熱電阻真空計(jì)，它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的。由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同，當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí)，由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同，通過測(cè)量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。如果配合電橋測(cè)量熱絲電阻的變化，將有效提高測(cè)量的準(zhǔn)確度。這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在0.1pa至1000pa。
由于不同氣體在相同氣壓時(shí)導(dǎo)熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下 定。熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，只是它不用測(cè)量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶直接測(cè)量熱比的溫度變化。
測(cè)量范圍一般與在0.1pa至1000pa。熱極電離規(guī)中，由熱極即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，由收集極收集產(chǎn)生的離子，形成離子電流，通過測(cè)量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進(jìn)而得到氣壓大小。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0e-05pa至0.1pa。
經(jīng)改進(jìn)后的熱極電離規(guī)，bayard-alpert規(guī)，可以將測(cè)量下限降低至1.0e-09pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時(shí)也需要在不同氣體下進(jìn)行 定。冷極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進(jìn) 壓測(cè)量，但與熱極電離規(guī)不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0e-07pa至0.1pa。與熱極電離規(guī)同樣的原因，這種規(guī)在使用時(shí)需要在不同氣體下 定。
量程范圍
在較高壓力時(shí)(10～1pa)利用壓力差u型管壓力計(jì)，麥克勞真空計(jì)，薄膜計(jì)，彈簧管壓力計(jì)等 。
在10～100pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo)，粘性)的變化而做成的皮氏計(jì)、粘性真空計(jì)。
在低壓力時(shí)，使用將氣體分子電離而測(cè)量的電離真空計(jì)
技術(shù)指 ：
配用規(guī)管：zj-10
測(cè)量范圍：102--10-4帕
測(cè)量路數(shù)：1路
控制路數(shù)：2路
控制方式：點(diǎn)控或區(qū)域控制
控制范圍：100-10-4帕
控制精度：1%
響應(yīng)時(shí)間：1s
顯示方式：led數(shù)碼管 5位數(shù)碼管、單顯示
繼電器控制能力：ac220v/3a無感負(fù)載
電源：ac220v&plun;10% 50hz
功耗：30w
重量：5kg
機(jī)箱尺寸：320x280x88
可選功能: 1、電纜線可加長(zhǎng).
2、可帶0-5v/10v,0/4-10/20 ma等模擬量輸出.
3、可帶rs232或485接口.
4、規(guī)管可配不同的接口方式. 機(jī)箱可配不同顏色
技術(shù)指 ：
配用規(guī)管：zj-27
測(cè)量范圍：10-1--10-5帕
測(cè)量路數(shù)：1路
控制路數(shù)：2路
控制方式：點(diǎn)控或區(qū)域控制
控制范圍：10-1-10-5帕
控制精度：1%
響應(yīng)時(shí)間：1s
顯示方式：led數(shù)碼管 5位數(shù)碼管、單顯示
繼電器控制能力：ac220v/3a無感負(fù)載
電源：ac220v&plun;10% 50hz
功耗：30w
重量：5kg
機(jī)箱尺寸：320x280x88
可選功能: 1、電纜線可加長(zhǎng).
2、可帶0-5v/10v,0/4-10/20 ma等模擬量輸出.
3、可帶rs232或485接口.
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