興之揚吹風機鋼網片小編給大家介紹濕式蝕刻對溶液濃度及溫度有什么要求:
濕式蝕刻的速率通常可藉由改變溶液濃度及溫度予以控制。溶液濃度可改變反應物質到達及離開待蝕刻物表面的速率,一般而言,當溶液濃度增-,蝕刻速率將會提高。而提高溶液溫度可加速化學反應速率,進而加速蝕刻速率。
濕式蝕刻除了溶液的選用外,選擇適用的屏蔽物質亦是十分重要的,它必須與待蝕刻材料表面有-的附著性、并能承受蝕刻溶液的侵蝕且穩定而不變質。而光阻通常是一個-的屏蔽材料,且由于其圖案轉印步驟簡單,因此常被使用。但使用光阻作為屏蔽材料時也會發生邊緣剝離或龜裂的情形。邊緣剝離乃由于蝕刻溶液的侵蝕,造成光阻與基材間的黏著性變差所致。解決的方法則可使用黏著促進劑來增加光阻與基材間的黏著性,如hexamethyl-disilazane(hmds)。龜裂則是因為光阻與基材間的應力差異太大,減緩龜裂的方法可利用較具彈性的屏蔽材質來吸收兩者間的應力差。
蝕刻化學反應過程中所產生的氣泡常會造成蝕刻的不均勻性,氣泡留滯于基材上阻止了蝕刻溶液與待蝕刻物表面的接觸,將使得蝕刻速率變慢或停滯,直到氣泡離開基材表面。因此在這種情況下會在溶液中加入一些催化劑增進蝕刻溶液與待蝕刻物表面的接觸,并在蝕刻過程中予于攪動以加速氣泡的脫離。
為什么說支撐蝕刻不銹鋼需求擴大和新開發材料批量生產的是生產技術的提高:
可以說更廉價和、-良的不銹鋼生產技術及供應體制,確立了如高純鐵素體不銹鋼和雙相不銹鋼等生產難度大的材料的批量生產技術,并對不銹鋼市場的擴大發揮了-作用。近十年來,不銹鋼粗鋼產量以年增長率5%的速度增長,中國的不銹鋼生產設備投資目前仍在繼續,甚至出現了一家公司不銹鋼板坯生產規模達到300萬噸/年的可與日本總生產能力相-的-型不銹鋼企業。另外印度也公布了-設備投資計劃,因此有-對今后不銹鋼的供需平衡,-是對亞洲地區的供需平衡加以關注。
興之揚腐蝕不銹鋼網片小編給大家介紹什么是濕式蝕刻技術:
早期的蝕刻技術是利用特定的溶液與薄膜間所進行的化學反應來除薄膜未被光阻覆蓋的部分,而達到蝕刻的目的,這種蝕刻方式也就是所謂的濕式蝕刻。因為濕式蝕刻是利用化學反應來進行薄膜的去除,而化學反應本身不具方向性,因此濕式蝕刻過程為等向性,一般而言此方式不-定義3微米以下的線寬,但對于3微米以上的線寬定義濕式蝕刻仍然為一可選擇采用的技術。
濕式蝕刻之所以在微電子制作過程中被廣泛的采用乃由于其具有低成本、高-性、高產能及-的蝕刻選擇比等優點。但相對于干式蝕刻,除了無-義較細的線寬外,濕式蝕刻仍有以下的缺點:1)需花費較高成本的反應溶液及去離子水;2)化學-處理時人員所遭遇的安全問題;3)光阻附著性問題;4)氣泡形成及化學蝕刻液無法完全與晶圓表面接觸所造成的不完全及不均勻的蝕刻。
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