壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件,陶瓷壓力傳感器,它是基于壓阻效應(yīng)工作的,所謂壓阻元件實際上就是指在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻,當(dāng)它受外力作用時,其阻值由于電阻率的變化而改變,擴散電阻正常工作時需依附于彈性元件,常用的是單晶硅膜片。
壓阻式壓力傳感器壓阻芯片采用周邊固定的硅杯結(jié)構(gòu),封裝在外殼內(nèi),在一塊圓形的單晶硅膜片上,布置四個擴散電阻,陶瓷壓力傳感器求購,兩片位于受壓應(yīng)力區(qū),另外兩片位于受拉應(yīng)力區(qū),它們組成一個全橋測量電路。
硅膜片用一個圓形硅杯固定,兩邊有兩個壓力腔,一個和被測壓力相連接的高壓腔,另一個是低壓腔,接參考壓力,通常和壓---相通,當(dāng)存在壓差時,膜片產(chǎn)生變形,使兩對電阻的阻值發(fā)生變化,電橋失去平衡,陶瓷壓力傳感器工廠,其輸出電壓反映膜片兩邊承受的壓差大小。
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壓力傳感器碰到高溫怎么辦?若測量介質(zhì)的溫度在70到80℃,則只須要在壓力傳感器或許壓力表與取壓銜接處加一個散熱器,這樣能夠讓溫度恰當(dāng)下降一點,讓介質(zhì)通過散熱器散熱后與儀表間接接觸。
假如測量介質(zhì)溫度---100℃,抵達(dá)200℃的時分,我們就須要在取壓口安裝冷凝圈后再加散熱器,這樣介質(zhì)通過冷凝圈冷卻后,再通過散熱器散熱與壓力傳感器間接接觸時溫度就很低了。
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壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器,壓阻式傳感器常用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚缫何弧⒓铀俣取⒅亓俊?yīng)變、流量、真空度的測量和控制。
壓阻式壓力傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),引出電極引線,壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應(yīng)變計需通過彈性的敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。
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