傳感器動態(tài)響應(yīng)好:電感式傳感器由于帶電極板間的靜電引力很小(約幾個10(-5)n),需要的作用能量很小,又由于它的可動部分可以做得很小很薄,遠(yuǎn)距離漫反射型光電傳感器,即很輕,因此其固有頻率---,動態(tài)響應(yīng)時間短,能在幾兆赫茲的頻率下工作,---適用于動態(tài)測量。又由于其介質(zhì)損耗小可以用較高頻率供電,小型遠(yuǎn)距離檢測型光電傳感器,因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用于測量高速變化的參數(shù)。
可以非接觸測量且靈敏度高:非接觸測量回轉(zhuǎn)軸的振動或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當(dāng)采用非接觸測量時,電容式傳感器具有平均效應(yīng),可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。