流量控制器，即massflowcontroller(mfc)，不但具有流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，mfc自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。流量控制器mass flow controller縮寫為mfc用于對于氣體或者液體的流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，數字流量計分類，分子束外延，cvd，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。
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流量控制器是一種測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償，可根據需要進行流量設定，自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。可以地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制，是用于對于不同氣體的比例控制。直接測量氣體的流量，輸出流量信號，不用其他設備。可以的測量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，數字流量計，而且溫度，壓力范圍很大。
一、壓力狀況
在加氣機中使用的流量控制器測量的氣體的壓力不低于20mpa，壓力遠遠大于-壓。高壓改變了振動管的內應力，提高了彈性管的等效剛度，從而使振動管的振動頻率增大，兩管的相位差減��；氣體流經振動管時，存在壓降，使得振動管受力不對稱，這也對相位差有影響。
二、溫度影響
用于加氣機的cmf工作溫度遠低于室溫，數字流量---產廠家，溫度影響必須考慮；介質溫度或環境溫度變化會改變測量振動管的楊氏模量和影響零漂的結構等各種因素。
三、流速問題
壓縮氣體密度低，流速快，其影響不能忽略。理想情況下，流速增大則振動管的振動頻率減小。通常流體密度變化小，可以認為流速與流體流量正比，因此流速的補償可以轉化為流量變化的非線性因素進行補償。
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儀表連接管道的振動連接tmf的管道在常見實際范圍內的振動不會產生振動干擾，在正常情況下不影響儀表的測量性能。惟插入式tmf的檢測桿必須牢固地固定于管道，并避免裝在有振動的場所。
脈動流的影響tmf響應時間長，不適應脈動流流量測量。若作測脈動流測量，應了解tmf的響應性，以-能跟隨的上脈動的速度變化。脈動引起的測量誤差通常使儀表輸出偏高，其程度取決于脈動幅值和頻率。
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