為什么說支撐蝕刻不銹鋼需求擴大和新開發材料批量生產的是生產技術的提高:
可以說更廉價和、---良的不銹鋼生產技術及供應體制,確立了如高純鐵素體不銹鋼和雙相不銹鋼等生產難度大的材料的批量生產技術,并對不銹鋼市場的擴大發揮了---作用。近十年來,不銹鋼粗鋼產量以年增長率5%的速度增長,中國的不銹鋼生產設備投資目前仍在繼續,甚至出現了一家公司不銹鋼板坯生產規模達到300萬噸/年的可與日本總生產能力相---的---型不銹鋼企業。另外印度也公布了-設備投資計劃,因此有---對今后不銹鋼的供需平衡,---是對亞洲地區的供需平衡加以關注。
興之揚蝕刻不銹鋼網片小編來向大家說說電漿干法蝕刻制程參數:
電漿蝕刻制程參數一般包括了射頻(rf)功率、壓力、氣體種類及流量、蝕刻溫度及腔體的設計等因素,而這些因素的綜合結果將直接影響蝕刻的結果。
射頻(rf)功率是用來產生電漿及提供離子能量的來源,因此功率的改變將影響電漿中離子的密度及撞擊能量而改變蝕刻的結果。壓力也會影響離子的密度及撞擊能量,另外也會改變化學聚合的能力;蝕刻反應物滯留在腔體內的時間正比于壓力的大小,一般說來,延長反應物滯留的時間將會提高化學蝕刻的機率并且提高聚合速率。氣體流量的大小會影響反應物滯留在腔體內的時間;增加氣體流量將加速氣體的分布并可提供更多未反應的蝕刻反應物,因此可降低負載效應(loadingeffect);改變氣體流量也會影響蝕刻速率。原則上溫度會影響化學反速率及反應物的吸附系數(adsorptioncoefficient),提高芯片溫度將使得聚合物的沉積速率降低,導致側壁的保護減低,但表面在蝕刻后會較為干凈;增加腔體的溫度可減少聚合物沉積于管壁的機率,以提升蝕刻制程的再現性。晶圓背部---氣循環流動可控制蝕刻時晶圓的溫度與溫度的均勻性,以避免光阻燒焦或蝕刻輪廓變形。其它尚須考慮的因素還有腔體的材質,一般常見的材質包含鋁、陶瓷、石英、硅及石墨等,不同的腔體材質會產生不同的反應產物并會改變蝕刻的直流偏壓。
蝕刻不銹鋼生產技術發展與展望:
自1958年日本引進森吉米爾20輥寬帶鋼軋機開始批量生產不銹鋼薄板以來已過了半個世紀,其間日本國內的不銹鋼需求隨著經濟發展得到穩步增長。放眼其它各國的經濟發展不斷擴大了對蝕刻不銹鋼的需求。在當今對環境問題的關心不斷---的形勢下,利用不銹鋼本身具有的耐熱性能、耐蝕性能等特性,將其應用于日益高溫化的汽車尾氣排氣管系統及高鹽腐蝕環境的海水淡化成套設備等環境相關領域,不銹鋼自身的適用范圍也在不斷擴大。受長期以來稀土金屬供需緊張的影響,積極進行不含鎳的高純鐵素體不銹鋼、低鎳但具高耐蝕性能、高強度的雙相鋼等節資源、高功能材料的研究開發,目前已占據了一定規模的市場份額。
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