方歐真空科技公司(多圖)-愛德華UL70真空泵油

普旭真空泵油乳化的預防措施

     我們在普旭真空泵的使用過程中，就老是會發現普旭真空泵油乳化了，那是為什么呢？原來是真空泵在運行過程中吸入了腐蝕性氣體也可能是有水汽的空氣和冷氣體，吸入的腐蝕性氣體會腐蝕泵內的金屬零件，然后和真空泵油產生化學變化，就形成了真空泵油乳化含有水汽的空氣和冷氣體也會引起真空泵油乳化。

   知道了原因，那就好應對了，我們可以嚴防腐蝕性氣體、有水汽的空氣和冷氣體的進入，不過更簡便的方法就是買抗乳化的真空泵油，抗乳化性能好真空泵油的油水分離能力比較強，水蒸氣和冷凝氣體可以通過打開氣鎮閥，排除部分水蒸氣，不知道該怎么選抗乳化的真空泵油也沒關系，大家只要記得低粘度泵油抗乳化能力比高粘度油要好，加劑泵油比不加劑泵油效果更為明顯就行了。

對于普通的無油真空系統愛發科真空泵油來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹l底解決問題，愛德華ul70真空泵油，而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。

　　愛發科真空泵油的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

　　1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

　　2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；

　　4)在化學工業、醫l藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有l機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

　　5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。