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根據(jù)電解質的種類可分為氯化物熔鹽體系和---物-氧化物熔鹽體系電解法,多用于制取以---為主的混合稀土金屬以及---、鐠、釹等單一稀土金屬。熔鹽電解法為連續(xù)性生產過程,產量較大,設備簡單,銀合金靶材加工,成本較低,但電解槽需用耐高溫氯化物或---物腐蝕的結構材料制造。
還原制得含稀土99%的稀土金屬經真空精煉(包括真空蒸餾或升華)、電傳輸、區(qū)域熔煉、熔鹽電解精煉等方法處理除去非稀土雜質后,銀合金靶材價格,可獲得純度超過99.9%的稀土金屬產品。
此外,使用混入了導電性填充劑的電子導電性橡膠的導電輥,銀合金靶材,其電阻值與施加的電壓有關,存在電阻值不固定的問題。---是采用碳黑作為導電性填充劑時,銀合金靶材加工找,這些傾向更明顯。
由于使用了電子導電性橡膠的導電輥,不論是采用間歇式制法還是連續(xù)---處理法,都存在電阻值不均勻的問題,所以在數(shù)字化、彩色化等提高圖像的技術日新月異的今天,希望用離子導電性橡膠替代電子導電性橡膠。
鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話,靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料,不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時,會產生不同的---破壞效應。
各種類型的濺射薄膜材料在半導體集成電路(vlsi)、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等方面都得到了廣泛的應用。20世紀90年代以來,濺射靶材及濺射技術的同步發(fā)展,---地滿足了各種新型電子元器件發(fā)展的需求。
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