科儀產品主要有:薄膜制備設備,真空冶金設備,檢漏設備,真空系統等非標真空產品;系列分子泵,空調換熱器真空箱-檢漏系統,離子泵,鈦升華泵,深冷捕集泵等高真空獲得設備;系列干式渦旋泵,干式爪泵,干式螺桿泵等無油真空獲得設備;真空環境模擬設備等-產品。今天科儀的小編就和大家分享一下-質譜檢漏儀的主要配置有哪些,希望對您有所幫助!
1. 檢漏儀分子泵
2. 機械泵或者干泵
3. 定制檢漏儀電磁閥
4. 內置標準漏口
5. 放大器
6. 采用質譜模塊
(1) 漏率校準 校準系統的組成
校準系統由標準漏孔、截止閥及需校準的-質譜檢漏儀組成。
示值誤差
通電預熱,待-質譜檢漏儀啟動完成后,采用標準漏孔對-質譜檢漏儀進行校準,將一經過校準的標準漏孔接入-質譜檢漏儀系統,運行-質譜檢漏儀,待漏率示值穩定后,可以讀出標準漏孔漏率的-質譜檢漏儀示值,同一標準漏孔測量三次,計算-質譜檢漏儀示值平均值,從而得到標準漏孔漏率與-質譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。結束后,將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入-質譜檢漏儀系統進行測試,得到-質譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。
如果測試結果有較大編差,可以考慮-質譜檢漏儀的自校功能,待完成后,再用標準漏孔進行測試。
重復性
測量重復性是用實驗標準偏差表征的,本校準方法采用極差法來表征重復性。在示值誤差測量中,每一標準漏孔用-質譜檢漏儀重復測量三次,可用公式(2)計算-質譜檢漏儀在該漏率下的重復性。
今天和大家分享的是-質譜檢漏儀的校準方法,如您想了解更多的產品信息,您可撥打圖片上的電話進行咨詢!
今天科儀的小編就和大家來分享一下-質譜檢漏儀對示漏氣體有哪些要求,希望對您有所幫助!
(1)無害,不能對人體或環境造成傷害;
(2)輕,惰性氣體,穿透能力強,能穿透微小細縫;
(3)化學性質穩定,不會引起化學反應和易1燃易1爆;
(4)在空氣環境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體,滿足檢漏靈敏度方面的要求,減少本底干擾檢測的準確性。
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