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脈沖激光沉積系統配置:
生長室,激光脈沖沉積裝置公司,進樣室可選水平、垂直兩種靶臺可選激光加熱和輻射加熱兩種樣品臺可選,激光脈沖沉積裝置,激光加熱高的溫度1200℃工藝氣路可以任意搭配配備高壓rheed,工作氣壓可達100pa可預留法蘭,用于leed,k-cell, e-beam等其它可選項如臭氧發生器,激光脈沖沉積裝置價格,離子源,掩膜系統等。
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脈沖激光沉積原理:在真空環境下利用脈沖激光對靶材表面進行轟擊,利用激光產生的局域熱量將靶材物質轟擊出來,再沉積在不同的襯底上,從而形成薄膜。
脈沖激光沉積也被稱為脈沖激光燒蝕pulsed laser ablation,pla,是一種利用激光對物體進行轟擊,然后將轟擊出來的物質沉淀在不同的襯底上,得到沉淀或者薄膜的一種手段。
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