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發展真空技術，助力半導體行業我國是大的半導體消費市場，但產業鏈整體價值水平較低，尤其是關鍵材料與---設備和零部件方面，存在較大國外品牌依賴。例如，薄膜沉積、刻蝕、離子注入等半導體制造中關鍵工藝過程---部件——磁懸浮分子泵，長期被國外壟斷。面對“卡脖子”問題，中科科儀積極響應需求，瓦里安分子泵性能，承擔科技部《---規模集成電路制造技術及成套工藝》專項中“磁懸浮分子泵系列產品開發與產業化”項目，多項關鍵技術，于2011年成功研制國內第i一臺磁懸浮分子泵，---國外產品壟斷。牽引分子泵的優點是啟動時間短，在分子流態下有---的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸氣，---適于抽除較重的氣體。瓦里安分子泵

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