-質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并-成束，以一定能量注入質(zhì)分析器，
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。
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北京科儀真空技術(shù)有限公司生產(chǎn)-質(zhì)譜檢漏儀，空調(diào)管路-測漏設(shè)備，今天科儀的小編就大家來分享一下-質(zhì)譜檢漏儀的標(biāo)準(zhǔn)器的選擇，希望對大家有所幫助！
標(biāo)準(zhǔn)器 采 用 滲 - 型 標(biāo) 準(zhǔn) 漏 孔，漏 率 標(biāo) 稱 值 在( 10 - 6 ～ 10 - 10 ) pa·m3 /s，不確定度不大于 10% 。
精密玻璃溫度計(jì)，測量范圍(0 ～ 50) ℃ ，不確定度 u = 0. 04℃ ，k = 2。
真空箱法-質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)
1．配置與氣路控制
真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。
工件抽空系統(tǒng)：低真空泵及閥門，冷柜內(nèi)膽-測漏設(shè)備，低真空測量充氮與回收系統(tǒng)：-氣儲存罐(高壓罐)，-氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機(jī)，輔壓縮機(jī)，過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。
真空箱抽氣系統(tǒng)：為自動控制型，由面板、plc系統(tǒng)(可編程邏輯控制器)，充-回收系統(tǒng)，真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計(jì)，同時，實(shí)施對整個系統(tǒng)的工作控制，對檢漏過程和結(jié)果顯示。
2.系統(tǒng)檢測過程
1)、通過v1、v4，泵系統(tǒng)對工件和真空箱抽真空，如果限定的時間內(nèi)抽到限定的真空度，此時，電氣控制系統(tǒng)關(guān)閉v1，打開v2
2)、充-系統(tǒng)通過v2對工件進(jìn)行充-至核定的壓力，穩(wěn)定，關(guān)閉v2
3)、關(guān)閉v4，打開v3、v5，處在正常工作狀態(tài)待命的-質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏，如果不漏，電氣控制系統(tǒng)指揮關(guān)斷v3、v5，打開v2對-氣進(jìn)行回收。
4)、關(guān)閉v2打開v6對真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。
5)、如果第三點(diǎn)檢漏儀檢測到超過設(shè)定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報(bào)警，空調(diào)管路真空箱-測漏設(shè)備，將：工作內(nèi)的-氣回收，對真空箱和管道巾的-氣通過清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。
6)、維持泵有一定的-分流作用，不宜過大(不超過41)，清潔泵也同樣。
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