真空泵油的主要性能
真空泵油, ---總壓強(qiáng)和的---分壓力
---的總壓力:皮拉尼真空計(jì)和熱電偶真空計(jì)測量所有材料真空泵(氣)總壓強(qiáng)。目前,測試強(qiáng)調(diào)總壓強(qiáng)指數(shù)。
---的分壓力:水星壓縮真空計(jì)(麥克勞德壓力計(jì))---空氣測量泵壓力,雙旋轉(zhuǎn)葉片泵壓力應(yīng)小于6 * 10-5kpa。總壓強(qiáng)之間的區(qū)別和---壓力不超過一個數(shù)量級。兩者之間的差異越大,真空泵油含有更多的揮發(fā)性成分,油的性質(zhì)就越低。
名 稱: 里其樂真空泵油multi-lube100
品 牌: 德國里其樂
規(guī) 格: 5l
適用機(jī)型: 里其樂油旋片真空泵
產(chǎn)品描述:里其樂真空泵油100以優(yōu)良的熱氧化---性,不易生成油泥、漆膜及其他氧化產(chǎn)物,---的防銹、抗腐蝕性能.防止汽缸、排氣閥銹蝕腐蝕;抗乳化性能好,容易與接觸的水分離,---的分水性能.適用于里其樂旋片真空泵。
對于普通的無油真空系統(tǒng)愛發(fā)科真空泵油來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹
愛發(fā)科真空泵油的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,譜旭vm32真空泵油供應(yīng),而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;
4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)
5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。