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根據以上原則,當泵所需的真空度或氣體壓力不高時,排氣閥門真空泵維修,可優先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,單級泵往往不能滿足,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較---量,即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmhg以上,可選用水環----泵或水環-羅茨真空機組作為抽真空裝置。
如果只作真空泵用,則選用單作用泵比較好。因為單作用泵的構造簡單,容易制造和維護,且在高真空情況下抗汽蝕性好。如果僅作較---量的壓縮機使用,則選用雙作用的泵比較合適。因為雙作用泵的氣量大,體積小,重量輕,徑向力能得到自動平衡,軸不容易產生疲勞斷裂,泵的使用壽命較長。
目前有兩代渦旋泵產品。代產品由于軸承密封隔離不是---,不能做到完全無油,故不使用。第二代產品是單級渦旋設計。只有一個軸承,軸承與真空腔隔離,完全無油。并且裝有控制系統,sbv真空泵維修,可變頻控制0、50、60、70hz,故性能較好。產品不需要維修,2~3年更換密封件,維護方便、簡單,具有較強的抽水蒸氣能力。boc公司的渦旋泵在我國銷量達100臺/年左右。美國varian公司:美國varian公司1998年開發了渦旋泵,到目前已有三代渦旋泵產品。代產品已基本停產。第二通過技術改進,形成了風格的二級設計:級是三渦旋線同時抽氣,可提高抽速,工作在從---壓到5.5×104pa;第二級是單渦旋線,從5.5×104pa到---。一、二級同時工作,是真正的(從壓力角度區分的)兩級泵。第三代產品是在第二代產品上增加了控制系統。varian公司的渦旋泵是其干式泵的主打產品,作為分子泵的前級主泵,不需要維修,15升真空泵維修,2~3年更換密封件,維護方便、簡單,因此在我國銷量達100臺/年以上。
渦旋真空泵具有較高的壓縮比,在較寬的壓力范圍內具有穩定的抽速,由于壓縮腔容積的變化是連續的,因而驅動扭矩變化小,功率變化小,振動噪聲低,真空泵維修,這是其他類型的干式真空泵所不具備的。為實現渦旋泵有效工作的目的,必須使渦旋型線在各個真空氣腔---嚙合,避免由于真空腔壓差大等因素導致渦旋壁受力情況惡化、產生熱變形、排氣腔一部分高壓氣體滯留和真空泵效率降低等情況。所以要---渦旋型線之間的包容與嚙合,控制工作介質的泄漏,達到抽氣目的。這是渦旋泵結構設計的重要依據。在泵的抽氣流道中,無須使用任何油類和密封液體作為介質,依靠動、靜渦旋盤相對轉動形成吸氣腔和壓縮腔將被抽氣體排出,連續完成吸氣、壓縮和排氣過程。因此,如何防止泄漏解決密封的問題尤為重要。渦旋泵的密封主要包括軸向嚙合間隙的徑向密封,即齒頂密封,和徑向嚙合間隙的切向密封,即齒側密封。
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