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edwards愛德華stp-ixa3306c磁懸浮分子泵維修圖

清理出很多雜質(zhì)如下圖

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edwards next240d渦輪分子泵

入口法蘭dn100iso-k，dn100cf

出口法蘭kf25

抽速n2240l/she230l/sh2165l/s

壓縮比n2>;1×1011he3×105h21×104

---真空iso/cf，rv前級泵<6×10-8/<5×10-10 mbar

前級泵*rv12/nxds10i

放氣口1/8英寸bsp母螺紋

吹掃口1/8英寸bsp母螺紋

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