德蔚展業(圖)-JPC電磁閥FJ23D-15-JPC電磁閥

目前，華特氣體的部分產品已批量供應7nm、14nm等晶圓產線，部分氟碳類產品已被臺積電7nm以下工藝使用。

公司研發出的20種進口替代產品已實現規模化生產，其中ar/f/ne混合氣、kr/ne混合氣、ar/ne混合氣、kr/f/ne混合氣4種光刻氣產品2017年在---占有率位居，---60%。

華特氣體也通過了光刻機供應商asml公司的產品，并為中芯國際、華虹宏力等---企業供貨。

相對來說，南大光電的產品以磷烷、烷等混合氣體為主，市場集中在led、面板等行業，jpc電磁閥，半導體特種氣體仍處于開拓階段。

昊華科技的產品以含氟電子氣體三---氮、六---硫為主，市場集中在電力、、光伏領域，半導體特種氣體仍處于開拓階段。

part one 設備端

硅片設備-熱處理設備-光刻設備-刻蝕設備-離子注入設備-薄膜沉積設備-拋光設備-清洗設備-檢測設備

part two 材料端

硅片-電子特種氣體-光刻膠-拋光材料-高純濕電子化學品-靶材3、part one 設備端1硅片設備

制作硅片，是芯片生產的道環節，硅單晶爐是制作硅片的主要裝置。

晶盛機電是該領域---，承擔過2項科技重大專項，硅單晶爐技術，---占有率。