正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有-的抽速，但不能抽-，而三極型濺射離子泵，或二極型非對稱陰極濺射離子泵對有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在-壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于-壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
真空系統常用名稱主泵：在真空系統中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。粗抽泵：從-壓下開始抽氣，并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。
進水管的進水口方位不對進水管的進水口離進水池底和池壁間隔小于進水口直徑。若是池底有泥沙等污物時，進水口離池底的間隔小于直徑的1.5倍時，會形成抽水時進水不暢或吸進泥沙雜物，阻塞進水口。進水管的進水口入水-不行時，這樣會引起進水管周圍水面發生漩渦，影響進水，削減出水量。正確的裝置辦法是：中小型水真空泵入水-不得小于300～600mm，大型水真空泵不得小于600～1000mm。
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