4分散劑
一般來說 ,對拋光液的基本要求是磨粒均勻地懸浮分散在拋光液中,且具有足夠的分布穩(wěn)定性。所以在拋光之前有-對拋光液進(jìn)行過濾,濾掉磨料-
產(chǎn)生的微量大尺寸磨料顆粒。然而,西安拋光布,過濾并不能全部消除這種-現(xiàn)象,因為在拋光的實際過程中,工藝參數(shù)的變化會導(dǎo)致磨料的軟-,從而影響工件
表面的拋光效果。因此,往往需要在拋光液中添加分散劑來提高拋光液的分散穩(wěn)定性,玻璃拋光布,以減少溶液中磨料粒子團(tuán)聚。
不同分散劑會對拋光液中磨粒的分散穩(wěn)定性產(chǎn)生不同的影響;分散劑的濃度也會對拋光液的分散穩(wěn)定性產(chǎn)生影響。
為滿足芯片微型化、高密度化、高速化、高數(shù)字化和系統(tǒng)集成化的要求,對芯片直徑、平坦化、線寬和金屬互連層數(shù)提出了更高要求,拋光布怎么用,這也對晶片的精密加工提出了更高要求。
半導(dǎo)體晶圓(芯片)加工工藝流程如圖1所示。
由于-集成電路(ulsi)向高度集成和多層布線發(fā)展,化學(xué)機(jī)械拋光、平坦化已成為集成電路制造不可缺少的關(guān)鍵工藝。它不僅是硅晶圓加工中終獲得納米光滑、無損傷表面的有效方法,也是芯片多層布線中的層間局域平坦化方法。
什么是拋光粉?它具有什么的作用以及性能?拋光粉-聽起來就知道 是在使用拋光機(jī)的時候要用到的拋光材料,拋光粉其中-種。拋光粉是由
好多種的氧化物質(zhì)混合而成的,從而所使用的不同材料的硬度不同,拋光布價格,那么,在水中的化學(xué)性質(zhì)也是不相同的.在使用場合當(dāng)中,也是有區(qū)別之
分的,就好像氧化鋁合金格的硬度是9 ,氧化和氧化鋯為7 ,其中氧化鐵是是硬度的一種。拋光粉比較用得多的地方是玻璃拋光身上,
對不同系列的玻璃進(jìn)行拋光,要根據(jù)自身的性質(zhì)去取決,選擇不同層次的拋光粉是達(dá)到后效果的辦法。拋光粉在應(yīng)用市場上當(dāng)中有好多
種不同使用場合,不同材料生產(chǎn)的,通過拋光粉的明確選擇必須要從硬度與自身材料。