潽拓——德國(guó)leybold分子泵,德國(guó)leybold分子泵價(jià)格,分子泵
萊寶機(jī)械分子泵 leybold tw 70 ls維修保養(yǎng)
leybold萊寶tw70ls真空分子泵維修,德國(guó)leybold分子泵油,oerlikon w70ls渦輪分子泵的進(jìn)氣法蘭口dn63,德國(guó)leybold分子泵控制器,
抽速可達(dá)到66 l/s 轉(zhuǎn)速為72000rpm, leyboldtw70ls是在tw70基礎(chǔ)上改進(jìn)而成,
專門用于leybold -質(zhì)譜檢漏儀。
leybold萊寶tw70ls分子泵維修產(chǎn)品屬性:型號(hào):tw70ls
泵材質(zhì):不銹鋼
驅(qū)動(dòng)方式:電動(dòng)
流量:70
性能:變頻
泵軸位置:邊立式
葉輪結(jié)構(gòu):封閉式
葉輪吸入方式:?jiǎn)挝?/dv>
葉輪數(shù)目:多級(jí)
潽拓——德國(guó)leybold分子泵,分子泵
萊寶leybold turbovac mag w 3200渦輪分子泵
turbovac mag w 3200 c/ct常用于半導(dǎo)體工業(yè)使用的渦輪分子泵。在半導(dǎo)體工業(yè),渦輪分子泵用于以下應(yīng)用場(chǎng)合:- 蝕刻;- 濺射;- 離子注入;- cvd;- 光刻。這些應(yīng)用中,經(jīng)常需要抽除腐蝕性氣體。需要使用配有吹掃氣體設(shè)備的磁懸浮分子泵,以免軸承損壞。尤其對(duì)于金屬蝕刻,德國(guó)leybold分子泵,渦輪分子泵的泵內(nèi)可能發(fā)生沉積現(xiàn)象, 選用帶溫度控制的擴(kuò)展附件在mag 1500 c、mag 2000 c、mag2800和mag 3200可以防止這種情況。與機(jī)械軸承渦輪分子泵相比,磁懸浮泵的優(yōu)勢(shì)在于氣體流量較大時(shí)可以防止軸承過(guò)熱,能夠有效地防止腐蝕性介質(zhì)對(duì)磁懸浮軸承的損壞。
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