常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等,這些泵是我國-各行業應用真空工藝過程中的主力泵種。近年來, 伴隨著我國經濟持續高速發展,真空泵相關下游應用行業保持快速增長勢頭,同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下,我國真空泵行業實現了持續穩定地快速的發展。
在連接管路中,用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計,---可檢查真空泵的---壓力。按電動機標牌規定連接電源,并接地線和安裝合適規格的熔斷器及熱繼電器。真空泵通電試運轉時,須取下電機皮帶,確認真空泵轉向符合規定方向方可投入使用,以防真空泵反轉噴油。轉向按防護罩指示方向對于有冷卻水的真空泵,按規定接通冷卻水。如真空泵口安裝電磁閥時,閥與真空泵應同時動作。當真空泵排出氣體影響工作環境時,可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。
干泵;國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,---提高了產品的性能和。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。---壓力從10pa~10-2pa,抽速從20m3/h~500m3/h。
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