3、擴散硅壓力傳感器:擴散硅壓力傳感器工作原理也是基于壓阻效應,利用壓阻效應原理,被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產生與介質壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發生變化,利用電子線路檢測這一變化,并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。
4、藍寶石壓力傳感器:利用應變電阻式工作原理,采用硅-藍寶石作為半導體敏感元件,具有的計量特性。因此,傳感器探頭定做,利用硅-藍寶石制造的半導體敏感元件,對溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著---的工作特性;藍寶石的抗輻射特性強;另外,傳感器探頭廠家,硅-藍寶石半導體敏感元件,無p-n漂移。
5、壓阻式力傳感器:電阻應變片是壓阻式應變傳感器的主要組成部分之一。金屬電阻應變片的工作原理是吸附在基體材料上應變電阻隨機械形變而產生阻值變化的現象,俗稱為電阻應變效應。
一些傳感器市場比如壓力傳感器、溫度傳感器、流量傳感器、水平傳感器已表現出成熟市場的特征。流量傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器的市場,分別占到整個傳感器市場的21%、19%和14%。傳感器市場的主要增長來自于無線傳感器、mems(micro-electro-mechanicalsystems,微機電系統)傳感器、生物傳感器等新興傳感器。其中,安慶傳感器探頭,無線傳感器在2007-2010年復合年增長率預計會超過25%。
體溫傳感器技術研究現狀
在體溫測量領域,集成溫度傳感器和ntc熱敏電阻相比于其他的溫度傳感器具有體積小、靈敏度高和響應時間快的優點,均是作為可穿戴式電子-感溫元件的---選擇。
集成溫度傳感器廣泛的應用于各個領域,例如食品監測、無源無線網絡以及其他熱管理裝置。cmos工藝下的集成溫度傳感器由于具有易于與其他電路集成、成本低、體積小以及功耗低等優點正越來越受到大家的---。近幾年來,己陸續有cmos溫度傳感器應用于人體體溫測量的研究和---。盡管如此,集成cmos溫度傳感器并未廣泛的應用于電子-,傳感器探頭加工,這主要是因為集成溫度傳感器的溫度測量精度不容易達到電子-的行業標準。
硅襯底工藝下的半導體集成電路中的感溫器件主要包括集成電阻、mos晶體管、雙極性晶體管、二極管以及cmos工藝下的寄生雙極性晶體管等。研究證明,雙極性晶體管是集成電路技術中理想的溫度傳感器單元,但雙極性工藝難以實現數字接口而bicmos技術成本又---,而cmos工藝易于實現數字和模擬電路的集成,在集成電路設計中占------,因此大多數設計通常采用cmos。工藝下的縱向寄生pnp晶體管作為集成溫度傳感器的感溫傳感器配件。由于cmos工藝下縱向寄生雙極型晶體管自身的物理特性受工藝偏差等因素的影響,cmos溫度傳感器的精度一直是其設計的難點。cmos工藝下的集成溫度傳感器的精度主要受縱向寄生pnp晶體管的電流增益變化、器件失配、機械應力以及工藝偏差等的影響。要實現的溫度測量,須采用有效的誤差消除技術和適當的校準技術。目前------的誤差消除技術主要包括動態匹配技術(dynamic-element-m---hing,dem)、斬波技術、非線性的二階曲率補償等,校準技術主要分為晶圓級的校準、封裝進傳感器外殼后的校準以及校準。
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