微光顯微鏡-特斯特-廣東顯微鏡

偵測到亮點之情況；

會產生亮點的缺陷：1.漏電結；2.解除毛刺；3.熱電子效應；4閂鎖效應； 5氧化層漏電；6多晶硅須；7襯底損失；8.物理損傷等。 偵測不到亮點之情況 不會出現亮點之故障：1.亮點位置被擋到或遮蔽的情形埋入式的接面及 大面積金屬線底下的漏電位置；2.歐姆接觸；3.金屬互聯短路；4.表面 反型層；5.硅導電通路等。

點被遮蔽之情況：埋入式的接面及大面積金屬線底下的漏電位置，這種情 況可采用backside模式，emmi顯微鏡，但是只能探測近紅外波段的發光，且需要減薄及 拋光處理。