無塵室的定義:空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔凈的環境。亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為潔凈室。潔凈室被廣泛地應用在對環境污染---敏感的行業,例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥等行業等,其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內,才不會對制程產生影響。作為生產設施,潔凈室可以占據廠房很多位置。
分散式空調凈化系統通常是指把熱、濕處理設備及粗效、中效及高1效過濾器集中組合在一個箱體內,分散設置在潔凈室內或鄰近房間、走廊的空調凈化系統。有時空調機組箱體內僅有粗效、中效過濾,但機組有較大的機外余壓可以克服出口處裝置高1效過濾器的阻力。此外,用裝配式潔凈小室和其他局部凈化設備潔凈工作臺、潔凈棚、自凈器配備一般柜式、箱式、壁掛小型空調器構成的系統也屬此類。分散式一般造價較低,變更較靈活,改造項目更宜于采用。---生產管理規范---實施指南對此有如下條款。第2.1.2.5條“對面積較大、潔凈室較高、位置集中及消聲、振動控制要求嚴格的潔凈室宜用集中式空氣凈化系統,反之,可用分散式空氣凈化系統。
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