氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有四種類型：吸附泵，吸氣劑泵，吸氣劑離子泵，低溫泵。常用國產真空泵的漢語拼音代號及名稱w 往復真空泵 z 油擴散噴射泵油增壓泵d 定片真空泵 s 升華泵x 旋片真空泵 lf 復合式離子泵，h 滑閥真空泵 gl ---鋁吸氣劑泵zj 羅茨真空泵機械增壓泵 dz 制冷機低溫泵yz 余擺線真空泵 dg 灌注式低溫泵l 濺射離子泵 if 分子篩吸附泵xd 單級多旋片式真空泵 sz 水環泵
正確地組合真空泵；由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有---的抽速，但不能抽---，而三極型濺射離子泵，或二極型非對稱陰極濺射離子泵有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在---壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于---壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2bv系列水環真空泵工作壓強范圍760mmhg~25mmhg絕壓，在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化詳細變化情況參照泵的性能曲線，其穩定的工作壓強范圍為760~60mmhg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜，而不能讓它在25~30mmhg下長期工作。
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