蘇州晶淼半導體設備有限公司為您提供半導體晶圓硅片清洗機，蘇州晶淼。全自動設備：晶圓片在工藝槽之間的移動，通過機械手完成。可實現干進干出，自動上料、自動下料，自動配液、自動補液。全自動多用于工作環境、工藝要求高的工序，以及大尺寸晶圓清洗。
半自動設備：晶圓片花籃在工藝槽之間的移動，通---工取放；通過彩色觸摸屏實現人機溝通交互和完成。可實現工藝參數的設定、修改和儲存、清洗過程的實時監控和時顯示，工作完成提示、故障報警等。各工藝槽具備一鍵操作按鈕。
手動設備特定：晶圓片在工藝槽之間的移動，通---工取放。工藝操作通過按鈕或手動閥實現，人為-性強。操作和維護簡便，設備和使用成本投入低。
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