無塵烘箱

東莞市全風(fēng)科技有限公司為您提供無塵烘箱。無塵烘箱，mes百級烘箱簡介：
無塵烘箱用于硅上薄膜電阻制造過程中的堅(jiān)膜工藝、半導(dǎo)體制造中硅片、鈮酸鋰、橡膠、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影像后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、is、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
無塵烘箱，mes百級烘箱技術(shù)參數(shù)：
溫度范圍
室溫＋10℃～250℃
溫度波動度
±0.5℃
溫度均勻度
≤±2℃
溫度過沖
≤5℃
工作室尺寸單腔
根據(jù)要求定制
潔凈度class
100級符合fed-std209e標(biāo)準(zhǔn)
功率
根據(jù)內(nèi)部尺寸而定
氣流控制方式
強(qiáng)制循環(huán)通風(fēng)，控制系統(tǒng)根據(jù)設(shè)定之溫度點(diǎn)通過pid自動運(yùn)算輸出的結(jié)果去控制加熱器的輸出量，終達(dá)到平衡
氣流循環(huán)裝置
內(nèi)置空調(diào)間、循環(huán)風(fēng)道及通風(fēng)電機(jī)
加熱方式
不銹鋼加熱器
隔板
每個(gè)腔體配二個(gè)隔板，用不銹鋼板沖孔制成
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