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電子氣體

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寧波森泉科技有限公司為您提供電子氣體。簡要描述:電子氣體包裝:1-40升瓶裝,標準充裝壓力:9.5 mpa,組分和濃度范圍可根據要求配制。
氣體工業名詞,半導體工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可分為純氣,高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級,lsi-集成電路級,vlsi---規模集成電路)級和ulsi(---規模集成電路級。
電子氣體是發展集成電路、光電子、微電子,---是---規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料制造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料,它被稱為電子工業的“---”和“糧食”,它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的、集成度、特定技術指標和成品率,并從---上制約著電路和器件的---性和準確性。
隨著電子消費品的升級換代,產品制造尺寸越來越大,產品成品率和缺陷控制越來越嚴格,整個電子工業界對電子氣體氣源純度,以及杜絕輸送系統二次污染的要求越來越苛刻。基本上工業界對電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術指標,直接與分析儀器技術進步帶來的---檢測---ldl相關聯。如傳統的激光顆粒測試儀可測到0.1微米,而核凝結技術cnc可達到0.01微米。
目前12英寸---規模集成電路制造線寬已經發展到45納米, 對于大宗氣體的純度都要求在ppt級別, 顆粒度控制直指cnc分析儀器的下限。實驗室亮度發光二極管led技術指標已達到200lm/w流明/瓦以上,對于氫氣和氨氣的純度控制要求也都小于1ppb十億分之一,氨氣則采用多級精餾生產,技術指標到達7n7個9的“白氨”,5n的氫氣需要采用---的鈀膜純化器提純至9n。
輸送管路系統普遍采用了316l不銹鋼電解拋光ep管道,高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器<0.003μm、vcr接頭等,接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin,同時采用零死區設計。施工技術采用全自動軌道焊接,同時制定和實施嚴格的純施工和qa/qc---程序。
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