產品性能
該射頻電源采用e類放大器，特殊的濾波網絡，實現波形的純凈。大屏幕液晶顯示：設定功率、入射功率、反射功率、狀態等參數
該電源可以作為射頻驅動等離子體系統的電源。應用對象包括：刻蝕、pecvd、磁控濺射、icp等 。
控制方式
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