干式螺桿真空泵是干式泵家族中的一員。所謂干式真空泵，在泵的抽氣流道中，不能使用任何油類和液體，雙級變頻真空泵好不---，排氣口與---相通，能直接連續向---中排氣的泵。干式真空泵在抽氣流道內無任何液態工作介質或密封介質，從---上解決了油封式真空泵引發的各種問題。雙級變頻真空泵干式螺桿真空泵由于其---的性能，在歐美和日本目前已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業真空獲得設備。日本是應用螺桿真空泵非常多的，半導體和lcd 行業應用廣泛，大晃株式會社的吉村將士等很早就在單頭等螺桿轉子方面申請了，在轉子上做了深入的研究，日立公司早期也做過螺桿泵方面的研究。
螺桿真空泵是通過泵腔內一對作等速反向旋轉螺桿的作用，吸入并排出被抽氣體而形成高真空。泵的結構如圖所示，螺桿輪廓型線是由阿基米德螺旋線和擺線曲線及圓弧等構成。在螺桿旋轉時，兩個螺桿之間、螺桿和泵體之間都保持一定的間隙且互不接觸，因而運轉時泵的摩擦損失很小，摩擦消耗功率，且可以實現高轉速運轉，被抽氣體被平順地壓送到排氣口并排至泵外。通過泵兩側的密封機構---齒輪箱內的潤滑油無法進入泵的吸氣腔內。泵與電機均為臥式結構，泵采用聯軸器與電機直聯，整機安裝在同一機架上。為了減少泵的排氣噪聲，泵的排氣口裝有。雙級變頻真空泵
螺桿式真空泵的結構 螺桿式真空泵一般是雙螺桿結構。螺桿式真空泵是通過一對非對稱螺桿轉子，在泵腔中作同步、高速反向運轉，雙級變頻真空泵電話，周期性改變齒間容積而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。
螺桿式真空泵在結構上比較簡單。形式上，湖南雙級變頻真空泵，螺桿式真空泵有臥式和立式之分；依據螺桿轉子型線的不同又可分為單頭螺桿式真空泵與多頭螺桿式真空泵；單頭螺桿式真空泵根據轉子螺距的不同，可分為等螺距螺桿式真空泵與變螺距螺桿式真空泵，變螺距中又可細分為一段式、兩段式、三段式等。
雙級變頻真空泵
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