光刻是整個集成電路制造過程中耗時長、難度大的工藝,耗時占ic制造50%左右,成本約占ic生產成本的1/3。光刻膠是光刻過程重要的耗材,光刻膠的對光刻工藝有著重要影響。
光刻是將圖形由掩膜版上轉移到硅片上,為后續的刻蝕步驟作準備。在光刻過程中,需在硅片上涂一層光刻膠,經紫外線-后,光刻膠的化學性質發生變化,在通過顯-,被-的光刻膠將被去除,從而實現將電路圖形由掩膜版轉移到光刻膠上。再經過刻蝕過程,實現電路圖形由光刻膠轉移到硅片上。在刻蝕過程中,光刻膠起防腐蝕的保護作用。
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根據化學反應機理和顯影原理的不同,光刻膠可以分為負性膠和正性膠。對某些溶劑可溶,但經-后形成不可溶物質的是負性膠;反之,對某些溶劑不可溶,經-后變成可溶的為正性膠。
從需求端來看,光刻膠廠家,光刻膠可分為半導體光刻膠、面板光刻膠和pcb光刻膠。其中,半導體光刻膠的技術壁壘較高。
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基于感光樹脂的化學結構,光刻膠可以分為三種類型。
光聚合型,采用烯類單體,在光作用下生成自由基,自由基再進一步引發單體聚合,然后生成聚合物,具有形成正像的特點。
光分解型,采用含有-醌類化合物的材料,經光照后,會發生光分解反應,由油溶性變為水溶性,可以制成正性膠。
光交聯型,采用-月桂酸酯等作為光敏材料,在光的作用下,其分子中的雙鍵被打開,并使鏈與鏈之間發生交聯,黑龍江光刻膠,形成一種不溶性的網狀結構,而起到抗蝕作用,這是一種典型的負性光刻膠。
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