臭氧殺菌的過程屬于生物化學氧化反應，其原理有三點，臭氧破壞器尺寸，、氧化分解-內部-所需的酶，使-滅活；第二、直接與-、-作用，破壞它們的細胞器和dna、rna，使-的-受到破壞，導致-；第三、透過細胞膜組織，臭氧破壞器功能，侵入細胞內，作用于外膜的脂蛋白和內部的脂多糖，使-發生通透性畸變而溶解。 臭氧殺菌快速，但凡事有利有弊，如果單位空間里的臭氧濃度過高，個人健康會受到影響
臭氧可以-同的部位注入冷卻水系統。簡單的冷卻水系統中，只需在一處加入臭氧就足夠了；對于復雜的、有多個支路的體系，則建議在幾個不同的部位加入臭氧，臭氧破壞器原理，使臭氧在水中的分布較為均勻。 4、臭氧尾氣破壞器可以廢水處理：臭氧氧化技術的機理基于臭氧氧化與其他水處理技術的組合，形成了氧化能力極強的-自由基，直接氧化廢水中的有機污染物，臭氧破壞器，使各種污染物降解為-和水。
臭氧尾氣破壞器可以處理游泳池水：臭氧是國際-的型綠色殺菌劑，不會對環境造成任何二次污染，而氯制劑會與水中的有機物反應生成多種-有機化合物，如-jia烷等，這些物質均為-的-致突變物。當人游泳時，這些有毒物質會被人體所吸收(在水中人體每小時可吸收500毫升水)。水中的-有機化合物還會-人的眼睛及皮膚，從而引發紅眼及皮疹。臭氧及其二次產物(如-)具有強的殺菌性及滅活-的作用，可有效防止性-的蔓延，不會產生二次污染。
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