潔凈室工作服檢測(cè)
1astm-f-51法(顯微鏡法)測(cè)試探頭裝有過(guò)濾隔膜，直接連接吸風(fēng)計(jì)量泵，通過(guò)的空氣量為28l/min。測(cè)試時(shí)使空氣通過(guò)試驗(yàn)衣料，將空氣中含有的發(fā)塵粒子捕到試驗(yàn)用的濾膜上，用400倍顯微鏡觀察并統(tǒng)計(jì)塵埃粒子數(shù)。讀出濾膜上面的0.5-5以及5以上的粒子個(gè)數(shù)。在濾膜上面印有3.08mm的格子，可以讀出一個(gè)格子內(nèi)的粒子數(shù)。
2astm-f-51修訂法(計(jì)數(shù)法)使空氣通過(guò)試驗(yàn)衣料，用粒子計(jì)數(shù)器測(cè)定發(fā)塵粒子的大小和個(gè)數(shù)。把試樣放置在帶金屬網(wǎng)的臺(tái)架上，用采樣器(用47mm的過(guò)濾器支架代替)接觸吸引，通過(guò)的空氣量為28l/min。
3振動(dòng)法把試樣放在小室內(nèi)，通過(guò)振動(dòng)扭轉(zhuǎn)產(chǎn)生粒子，用粒子計(jì)數(shù)器測(cè)定。同時(shí)，對(duì)粒徑大的粒子(25以上)捕集到濾膜上，讀出粒子個(gè)數(shù)。風(fēng)量為3.5英尺/分(0.099m/mim)，潔凈室檢測(cè)，振動(dòng)次數(shù)為150次/分。
4滾桶法(helmke drum test)把試樣放入一個(gè)側(cè)面開(kāi)口的旋轉(zhuǎn)的滾桶內(nèi)旋轉(zhuǎn)，從粒桶內(nèi)對(duì)發(fā)塵粒子采樣，用粒子計(jì)數(shù)器測(cè)定粒子個(gè)數(shù)后決定潔凈度的級(jí)別。旋轉(zhuǎn)滾筒尺寸為43cm×33cm，在桶的內(nèi)側(cè)有4個(gè)葉片，桶的轉(zhuǎn)數(shù)為10轉(zhuǎn)/分。
潔凈室檢測(cè)技術(shù)
亦即玷污控制(contaminationcontrol)技術(shù)。指的是:對(duì)象(產(chǎn)品、人及動(dòng)物)在被加工、處置、、防護(hù)及實(shí)驗(yàn)等過(guò)程中，對(duì)其所處環(huán)境內(nèi)玷污物影響對(duì)象的加工、處置、等、合格率或成功率的物質(zhì)進(jìn)行控制的技術(shù)。
玷污物的污染包含對(duì)產(chǎn)品的損害和對(duì)人的危害。污染包含直接污染和交叉污染范疇謂之)。人是污染源的發(fā)源地：人體每分鐘散發(fā)10萬(wàn)個(gè)粒子粒徑***0.5μm。每天脫落6～13克表皮細(xì)胞，一年脫落人體細(xì)胞約3.5公斤。半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來(lái)源，經(jīng)測(cè)試，作業(yè)人員占80%。
潔凈室檢測(cè)哪方面？
1、浮游菌，少采樣點(diǎn)數(shù)目對(duì)應(yīng)懸浮粒子采樣點(diǎn)數(shù)，工作區(qū)測(cè)點(diǎn)位置離地0.8-1.2m左右，送風(fēng)口測(cè)點(diǎn)位置離開(kāi)送風(fēng)面30cm左右，關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動(dòng)范圍處可增加測(cè)點(diǎn)，潔凈室檢測(cè)多少錢(qián)，每個(gè)采樣點(diǎn)一般采樣一次。全部采樣結(jié)束后，將培養(yǎng)皿放于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)，時(shí)間不少于48小時(shí)，潔凈室檢測(cè)，每批培養(yǎng)基應(yīng)該有對(duì)照實(shí)驗(yàn)，檢驗(yàn)培養(yǎng)基是否污染。
2、沉降菌，潔凈室檢測(cè)報(bào)價(jià)，工作區(qū)測(cè)點(diǎn)位置離地0.8-1.2m左右，將已制備好的培養(yǎng)皿置于采樣點(diǎn)，打開(kāi)培養(yǎng)皿蓋，使其暴露規(guī)定的時(shí)間，再將培養(yǎng)皿蓋上，將培養(yǎng)皿放于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)，時(shí)間不少于48小時(shí)，每批培養(yǎng)基應(yīng)該有對(duì)照實(shí)驗(yàn)，檢驗(yàn)培養(yǎng)基是否污染。
3、噪聲，測(cè)量高度距離地面約1.2米，潔凈室面積在15平方以下者，可只測(cè)室中心1點(diǎn);面積在15平方米以上，還應(yīng)再測(cè)對(duì)角4點(diǎn)，距側(cè)墻各1米，測(cè)點(diǎn)朝向各角。
4、照度，測(cè)點(diǎn)平面離地面0.8米左右，按2米間距布點(diǎn)，30平方米以內(nèi)的房間測(cè)點(diǎn)距邊墻0.5米，超過(guò)30平方米的房間測(cè)點(diǎn)距離墻面1米。
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