pld是將脈沖激光透過合成石英窗導入真空腔內照射到成膜靶上,靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume狀等離子體狀態,激光脈沖沉積設備廠家,然后被堆積到設在對面的基板上而成膜。pld方法可以獲得擁有熱力學理論上準穩定狀態的組成和構造的人工合成新材料。
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脈沖激光沉積,激光脈沖沉積設備公司,就是將激光-于靶材上一個較小的面積,利用激光的高能量密度將部分靶材料蒸發甚至電離,使其能夠脫離靶材而向基底運動,進而在基底上沉積,從而形成薄膜的一種方式。 在眾多的薄膜制備方法中,脈沖激光沉積技術的應用較為廣泛,可用來制備金屬、半導體、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、-物及-物等各種物質薄膜,甚至還用來制備一些難以合成的材料膜,如金剛石、立方氮化物膜等。
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沈陽鵬程真空技術有限責任公司——脈沖激光沉積供應商,激光脈沖沉積設備,我們為您帶來以下信息。
【設備主要用途】
pld450a型脈沖激光沉積設備采用pld脈沖激光沉積技術,用于制備高溫超導薄膜、半導體膜、鐵電薄膜、硬質薄膜以及微電子和光電子用多元氧化物薄膜及異質結,也可用于制備氮、碳、硅化合物及各種有機—無機復合材料薄膜及金剛石薄膜等。
【設備優點】
設備全程采用一鍵式操作抽氣,激光脈沖沉積設備,關機,程序自動化定時操作。避免了繁瑣的角閥,插板閥人工開啟。
【設備主要組成】
設備由沉積腔室單室球形或圓筒形、樣品加熱轉臺、激光入射轉靶、激光窗、電源控制系統、激光束掃描系統、計算機控制轉靶的旋轉、脈沖準分子激光器等組成
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