激光分子束外延設備-激光分子束外延設備-沈陽鵬程

電子束鍍膜機的特點/用途介紹

以下是沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您一起分享的內容，沈陽鵬程真空技術有限責任公司生產電子束，歡迎新老客戶蒞臨。

產品特點/用途：

?設備一體化設計，占地面積小，性能穩定，高，使用維護成本低；

?適用于實驗室制備金屬單質膜、半導體膜、有機膜，也可用于生產線前期工藝試驗等；

?適用于制備光學薄膜、導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜等。

電子束鍍膜的濺射方式

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濺射方式是用高速正離子轟擊靶材表面，通過動能傳輸，令靶材的分子原子有足夠的能量從靶材表面逸出，在產品表面凝聚形成薄膜。

用濺射的方法制鍍的薄膜附著性強，薄膜的純度高，可以同時濺射多種不同成分的材料，但是對靶材的要求高，不能象電子一樣節約資源。

目前運用較多的有磁控濺射，激光分子束外延設備廠家，磁控濺射是指平行于陰極表面施加強電場，將電子約束在陰極靶材表面附近，提高電離效率。它是操作比較簡單的一種，所以運用非常廣。