真空鍍膜系統(tǒng)的制作方法
在現(xiàn)有的真空鍍膜機(jī)中，安裝在鍍膜腔體中的加熱裝置多種多樣，現(xiàn)有的用于真空鍍膜的加熱裝置大多有加熱效率不高，無(wú)法減輕操作負(fù)擔(dān)、以及提高作業(yè)效率，受熱不均等問(wèn)題。
提供一種真空鍍膜系統(tǒng)，本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和真空手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè)。
真空鍍膜系統(tǒng)優(yōu)點(diǎn)：蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合，實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測(cè)試等工藝全封閉制作，使整個(gè)薄膜生長(zhǎng)和器件制備過(guò)程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中，消除有機(jī)大面積電路制備過(guò)程中---環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。
如何保養(yǎng)鍍膜機(jī)才能壽命更長(zhǎng)？
真空鍍膜機(jī)就是：蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)，并且沉降在基片表面，通過(guò)成膜過(guò)程散點(diǎn)－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng)形成薄膜。對(duì)于濺射類鍍膜，可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái)，并且終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過(guò)程，終形成薄膜。
那么在使用的同時(shí)，我們?cè)趺慈ケｐB(yǎng)他，愛(ài)護(hù)它，從而讓他壽命更長(zhǎng)呢？
一般擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個(gè)月以上，抽速明顯變慢，或操作失當(dāng)，充入---，拆去聯(lián)結(jié)水管，卸下電爐盤，將一級(jí)噴嘴擰出，先用油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然后用清水清洗干凈，待水份揮發(fā)干以后，裝好泵膽，加入新擴(kuò)散泵油，并裝回機(jī)體，接好水管，裝好電爐盤，真空鍍膜設(shè)備便可以重新開機(jī)。在重新開機(jī)前，要注意檢漏工作。
方法是：?jiǎn)?dòng)維持泵，關(guān)好大門，數(shù)分鐘后，觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6x10帕，否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣---后方可加熱，否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán)，真空鍍膜設(shè)備無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài)。
方法是：用naoh飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁，注意人體皮膚不可以直接接觸naoh溶液，以免灼傷目的是使鍍上去的膜料鋁al與naoh發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落，并釋放出氫氣。
當(dāng)粗抽泵滑閥泵，旋片泵連續(xù)工作一個(gè)月雨季減半，需更換新油。
方法是：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動(dòng)數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來(lái)。擰回放油螺栓，加入新油至額定量油視鏡觀察。連續(xù)使用半年以上，換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。
濺鍍機(jī)設(shè)備與工藝磁控濺鍍
濺鍍機(jī)由真空室，排氣系統(tǒng)，濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射sputtergun磁控濺射分為平面型和圓柱型，其中平面型分為矩型和圓型，靶材料利用率30-40%，圓柱型靶材料利用率>;50%濺射電源分為：直流dc、射頻rf、脈沖pulse，直流：800-1000vmax導(dǎo)體用，須可災(zāi)弧。
射頻：13.56mhz，非導(dǎo)體用。脈沖：泛用，新發(fā)展出濺鍍時(shí)須控制參數(shù)有濺射電流，電壓或功率，以及濺鍍壓力5×10-1—1.0pa，若各參數(shù)皆穩(wěn)定，膜厚可以鍍膜時(shí)間估計(jì)出來(lái)。
靶材的選擇與處理十分重要，純度要佳，質(zhì)地均勻，沒(méi)有氣泡、缺陷，表面應(yīng)平整光潔。對(duì)于直接冷卻靶，須注意其在濺射后靶材變薄，有可能破損---是非金屬靶。一般靶材薄處不可小于原靶厚之一半或5mm。
磁控濺鍍操作方式和一般蒸鍍相似，先將真空抽至1×10-2pa，再通入ar氣ar離子轟擊靶材，在5×10-1—1.0pa的壓力下進(jìn)行濺鍍其間須注意電流、電壓及壓力。開始時(shí)濺鍍?nèi)粲写蚧穑删徛{(diào)升電壓，待穩(wěn)定放電后再關(guān)shutter.在這個(gè)過(guò)程中，離子化的惰性氣體ar清洗和暴露該塑膠基材表面上數(shù)個(gè)毛細(xì)微空，并通過(guò)該電子與自塑膠基材表面被清潔而產(chǎn)生一自由基，并維持真空狀態(tài)下施以濺鍍形成表面締結(jié)構(gòu)，使表面締結(jié)構(gòu)與自由基產(chǎn)生填補(bǔ)和高附著性的化學(xué)性和物理性的結(jié)合狀態(tài)，以在表面外穩(wěn)固地形成薄膜.其中，薄膜是先通過(guò)把表面造物大致地填滿該塑膠毛細(xì)微孔后并作鏈接而形成．
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